林本堅 |
國立清華大學半導體學院 院長 |
林院長是國際知名的半導體技術專家,任職全球知名公司IBM研發中心期間,帶領研發團隊創造多項世界第一的技術,如:深紫外光技術、partial coherent imaging、多層光阻、曝光量-景深窗口、k1, k2, k3係數等。加入台積電團隊後,林院長跳脫當時半導體晶片製程主要採用乾式曝光的框架,改用水做為介質,發展出「浸潤式微影」技術,讓光束波長一舉縮短至134奈米,促使台積電在2004年與ASML共同完成開發全球第一台浸潤式微影機台,驚艷業界,也讓台積電首次主導業界規格。林院長對於全球半導體產業製程以及台積電的營運、績效都有極重要的貢獻。 |